技术特点 Features
· 成熟BBr3液态源、BCL3气态源控制与输送技术。
· 配套相关专利技术。
· 独特双嵌套炉门结构。
· 高速平稳整体模组推舟机构。
· 智能化全自动控制。
· 自主知识产权MES软件。
· 匹配S.C智能化生产管理系统。
