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高效异质结(HJT)太阳能电池智能生产线
一站式解决方案, 可帮助客户降低投资成本，提高生产效率。
n-TOPCon 太阳能电池智能生产线
TOPCon技术已经相当成熟，与现有PERC产线兼容度高，易于进行产线升级 ，已经成为主流的量产技术。
单晶槽式制绒设备
支持MES、RFID及选配在线称重功能。
管式低压硼扩散炉
成熟BBr3液态源、BCL3气态源控制与输送技术。
管式低压磷扩散炉
高方阻技术解决方案；独特双嵌套炉门结构，有效解决炉口偏磷酸问题。
管式扩散氧化退火炉
高方阻技术解决方案；配套相关专利技术，可适用于硼扩散工艺。
槽式碱抛光清洗设备
支持MES、RFID 及选配在线称重功能。
管式等离子体多晶硅淀积炉
全面的防超温、断偶、撞舟等安全报警保护功能。
全自动石英舟装卸片机
设备具有友好的人机界面和完善的检测报警系统，保证设备自动运行稳定，操作放心。
全自动石墨舟装卸片机
可搭配AGV，RFID 实现花篮和工艺载具全自动调度追溯，并且可通过链接MES 实现花篮和工艺载具车间级管理和调度。
HJT清洗制绒设备
对高效太阳能电池异质结电池片进行制绒、清洗。
板式等离子体增强化学气相沉积设备
制备本征及掺杂非晶硅薄膜。
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