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多功能薄膜沉积设备(SPE)
将真空蒸镀、反应式等离子镀膜、磁控溅射三大镀膜模块整合成一体，三种镀膜技术可同时独立运行，实验开机率媲美三台设备，产能高。
反应式等离子体镀膜设备 (RPD)
RPD镀膜适合钙钛矿、异质结太阳能电池、微型发光二极管与量子点显示器等的各种薄膜制备。
