单晶槽式制绒设备
单晶槽式制绒设备
技术特点 Features
· 产能：600片/批，14400片/小时（210 硅片）；720片/批，17280片/小时（182硅片）。
· 工艺槽循环量可调。
· 制绒金字塔均匀，刻蚀深度可调。
· 支持最薄120μm 硅片。
· 洁净干燥区域，自洁净干燥系统。
· 低H2O2 消耗。
· 快速换液，在线换液。
· 支持MES、RFID 及选配在线称重功能。
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