槽式RCA清洗设备
槽式RCA清洗设备
技术特点 Features
· 产能：400片/批，9600片/小时（210硅片）,480片/批，12000片/小时（182硅片）。
· 支持多种添加剂技术。
· 支持最薄120μm硅片。
· 洁净区域干燥，自洁净系统。
· 快速换液，在线换液。
· 支持MES、RFID及选配在线称重功能。
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