管式等离子体多晶硅淀积炉
管式等离子体多晶硅淀积炉
技术特点 Features
· 隧穿氧化层、i-poly、D-poly 三合一同管完成，减少工艺环节，有效提升良率、降低碎片率。
· 无热壁特性，石英管使用寿命长。
· 绕镀轻微，易去除。
· 精准掺杂、可引入其它提效掺杂元素，工艺拓展、提效空间大。
· 防导通专利技术。
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