全自动石英舟装卸片机

  技术特点 Features  

· 采用龙门式机构装卸硅片（或进口六轴机械手装卸硅片）+ 六轴机械手搬运片篮，双工作位切换装卸片，确保设备高效产能和设备可靠性。

· 顶齿、吸盘重要零部件采用特殊材质及加工工艺，最大降低顶齿/ 吸盘对硅片的损伤；特殊结构可实现顶齿、吸盘单片快速更换。

· 控制程序结构模块化，HMI 通过网络通讯实现与PLC 高速数据交互，便于设备功能扩展与设备维护；设备具有友好的人机界面和完善的检测报警系统，保证设备自动运行稳定，操作放心。

· 设备可匹配MES 功能；设备可选配方阻检测等检测模组；设备可匹配AGV 智能生产线；我司可根据客户需求定制个性化功能。