全自动石墨舟装卸片机

  技术特点 Features  

· 设备模块化设计，内部相似结构零部件高度统一，便于备件管理。

· 采用触摸屏+PLC 控制，操作界面简洁明了。

· 采用小舟流转装卸逻辑，产能高: ≥ 8000 片/ 小时(182mm 硅片)。

· 配置机台内部最高权限暂停功能，充分提升机台安全冗余。

· 可配置行业主流检测设备（选配功能），提升制成良率。

· 可搭配AGV，RFID 实现花篮和工艺载具全自动调度追溯，并且可通过链接MES 实现花篮和工艺载具车间级管理和调度。