光注入退火炉
光注入退火炉
技术特点 Features
· 双轨产线，机架电气完全独立，互不干扰。
· 大产能：匹配丝印工序产能，CT≤0.80秒，基于硅片尺寸M10（18X±0.5mm*18X±0.5mm）。
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技术特点 Features
· 双轨产线，机架电气完全独立，互不干扰。
· 大产能：匹配丝印工序产能，CT≤0.80秒，基于硅片尺寸M10（18X±0.5mm*18X±0.5mm）。