板式等离子体增强化学气相沉积设备
板式等离子体增强化学气相沉积设备
技术特点 Features
· 最小反射功率的快速启辉、均匀稳定大面积成膜。
· 成熟稳定的多点馈入射频RF 技术、技术兼容性和产品升级。
· 腔体内反应间距可调、灵活的工艺窗口。
· 大产能低成本、定制设备结构。
· 模块化设计便于安装和维护、高标准的安全设计思想。
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